半球閥在多晶硅行業(yè)的應(yīng)用
多晶硅生產(chǎn)工藝參數(shù):
介質(zhì)：硅粉、氮?dú)�、氫氣、氯化�?(如氯化氫等)
溫度：65~350 C
壓力：0.5 ~ 0.75 M Pa
硅粉顆粒很小，容易進(jìn)入閥門(mén)空腔和閥座空腔，造成卡死閥座及抱死閥門(mén)
2)硅粉硬度很高，達(dá)到HRC56~62
3)HCL具有腐蝕性
多晶硅用半球閥的特點(diǎn)：
1、由于現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境中含有CL2，HCL等腐蝕性氣體及灰塵顆粒雜質(zhì)，執(zhí)行機(jī)構(gòu)選用免維護(hù)的汽缸活塞式執(zhí)行機(jī)構(gòu)，氣路采取304不銹鋼管連接，所有外部的零部件（填料壓板、壓蓋、標(biāo)準(zhǔn)件等）均為不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)配制。閥體采用304L、316L等不銹鋼。
2、密封面高速氫氧氣噴涂工藝：采用以氫氣為燃料的噴涂工藝：氫氣、氧氣充分燃燒爆炸后，產(chǎn)生高速火焰（火焰速度高達(dá)6000碼/秒三倍音速），通過(guò)特別設(shè)計(jì) 的噴槍?zhuān)饘俜勰┝Ｗ颖桓咚賴(lài)娡康角蝮w表面及閥座的密封面上，從而形成致密的、具有極強(qiáng)粘結(jié)度的涂層，涂層表面硬度高達(dá)HRC72～76。在加工過(guò)程中，被加工零件表面溫度不超過(guò)300華氏度，這樣就使得溫度升高對(duì)該涂層的硬度影響并不大。
3、可供選擇的表面硬化處理方法,克服因氯化物而引起的腐蝕泄漏問(wèn)題
------ 在現(xiàn)代的表面硬化方法中,碳化鎢涂層是硬度最高的,但是在腐蝕工況中,其抗腐蝕能力是極低的，因此會(huì)產(chǎn)生閥門(mén)泄漏的問(wèn)題。在這種工況下，最合適的解決方案是表面硬化處理采用碳化鉻（HRC 66~68）涂層的方法。
碳化鉻表面硬化處理方法既解決了硅粉顆粒對(duì)閥門(mén)密封面的磨損與沖刷問(wèn)題，也提高了閥門(mén)的抗腐蝕性。
